Als het lukt om in 2015 125 wafers/uur op een EUV-machine te produceren kan de nieuwe EUV-fabriek op volle bezetting produceren. De prijs van een EUV-machine is circa 2x de prijs van de huidige topmachines. ASML investeert nog veel in de 'oude' ArF machines.

Mocht EUV niet snel genoeg gaan, dan neemt de vraag naar deze machines sterk toe doordat het productieproces een veel intensievere procedure verlangt. De winst van ASML kan in de komende vijf jaar verdrievoudigen. Theodoor Gilissen Bankiers heeft ASML op aanbevolen gezet.