In dezelfde periode 12 maanden geleden was er een omzet van 742 miljoen euro. De nettowinst bedroeg 395 miljoen euro, tegenover 407 miljoen euro tijdens het vierde kwartaal en 107 miljoen euro in het eerste kwart van 2010.

Tijdens het eerste kwartaal werd voor een bedrag van 845 miljoen euro aan nieuwe bestellingen binnengehaald, meer bepaald voor 36 nieuwe en 4 oude systemen. De totale waarde van het orderboekje bedroeg op 31 maart 3,33 miljard euro.

Eric Meurice, President en Chief Executive Officer of ASML, is van mening dat zijn bedrijf goed op weg is om opnieuw een recordresultaat neer te zetten tijdens het lopende boekjaar.